产品概述９�/strong>

� ET200A台阶�?/strong>适用于二次元表面纳米等级段差台阶测定、粗糙度测定、�/p>

� ET200A台阶�?/strong>拥有高精度．高分解能，搭配一体花岗岩结构，安定的测量过程及微小的测定力可对应软质样品表面、�/p>

� 该型号台阶仪采用直动式检出器，重现性高、�/p>

台阶仪ET200A产品参数

**试片尺寸	Φ200mm×高度50mm
重现�?/th>	1σ � 1nm
测定范围	Z:600um X:100mm
分解胼�/th>	Z:0.1nm X:0.1um
测定劚�/th>	10UN~500UN (1mg-50mg)
载物�?/th>	Φ160mm, 手动360度旋�?/td>

ET200A基于Windows 操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半 导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件� 薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现� 精度表面形貌分析应用。ET200A 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨 损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数� ET200A 配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD 原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域、�/p>