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连续加料直拉单晶 CCz
主要技术指栆/p>
1、整机尺寷(LWH)2000X2300X10800m;
2、主腔室内径1400mm,副炉室内径350mm;兼容24~34英寸RCz?2~34英寸CCz热场,可拉制10英寸以下直径的晶佒
3、加热方弎电阻加热,DC电源Pmax=150:50Kw,频?0Hz;
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