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 氮化镓（GaN）HVPE单晶生长设备卧式氮化镓（GaN）HVPE单晶生长设备立式 PVT单晶生长设备 SiC籽晶粘接设备 MPCVD设备 SiC高温氧化设备坩埚下降设备 LPCVD 卧式 LPCVD 设备立式

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