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HM5-160全自动检测系绞/h2>
1、高速度、高精度测量系统 2?*160mm*160mm范围自动测量 3、重复测量精度≦0.5µm 4、适用高反光、高透光材料 5、数据重复测量的一致性 6、测量膜厚、线宽、平面度等、/p>
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