� 电抛光多空不锈钢超高真空腔体

� 可集成热蒸发源或溅射溏�/span>

� 可旋转的耐氧化基片加热台

� 流量计或针阀精确控制气体流量

� 标准真空讠�/span>

� 干泵与涡轮真空泵

� 可选配不锈钢快速进样室

� 可选配基片-靶材距离自动控制系统

� 可制备：金属氧化物、氮化物、碳化物、金属纳米薄膜、多层膜、超晶格等、�/span>

产品特点� 超高真空不锈钢腔佒�/span>

� 电子束、热蒸发、脉冲激光沉积可集成

� 独立衬底加热，可旋转

� 多量程气体流量控制器

� 标准气压讠�/span>

� 机械、分子、冷凝真空泵

可选不锈钢快速进样室

� 衬底和源距离可控

� 可用于金属氧化物、氮化物、碳化物、金属薄膛�/span>

产品特点

� 高温石英管反应器设计

� 温度范围：室温到1100ℂ�/span>

� 多路气体精确控制

� 标准气压讠�/span>

� 易于操作

� 可配机械泵实现低厊�/span>TCVD

� 可用于制备金属氧化物、氮化物、碳化物、金属薄膛�/span>

� 液体前驱体喷夳�/span>

� 2英寸超大**温度均匀匹�/span>

产品特点９�/strong>

� 水冷不锈钢超高真空腔

�热丝易安装、更�

� 4个不同量程气体控制器

� 标准气压讠�/span>

� 衬底与热丝距离可调节

� 2英寸衬底加热、可旋转

� **制备金刚石和石墨�