产品参数能够避免操作失误情况的出�?/span>

��研究级材料显微镜，适合晶圆、电子元器件、金属、陶瓷、高分子材料、粉尘颗粒等样品观察分析，多种安全设计，保护晶圆，镜头及观察耄�/span>

��模块化设计，可实现透、反射观寞�/span>

��复消色差光路，整体光路支�?/span>25mm视野直径

��6孔位电动物镜转盘，配接直徃�/span>32mm长工作距离物镜，物镜转盘带编码，可在不同倍数的物镜下自动加载相应倍数的比例尺

��8 X 8大样品台，可实现8寸晶圆的直接观察

��内置手动/电动调焦系统

��独有皃�/span>0.7X宏观物镜，具有晶圆检查功胼�/span>

��可提供全自动明场、暗场、偏光、微分干涉、斜照明等观察方弎�/span>

��机身内置LED透、反射照明光源，智能光强变化的控制照明方弎�/span>

��可选配UV光源，提高分辨率至亚微米结构＋�/span>UV由大功率皃�/span>LED产生，具月�/span>UV咋�/span>OUV功能

��可自动记忆不同物镜与观察方式�?*的光强，光阑及聚光镜的组合，自动恢复到位，操作简单快逞�/span>

��光强，光阑，观察方式和聚光镜调节除了按键控制外，还可由计算机控制

��可连接晶圆搬送机进行连续工作

��可配接摄像头观察和采集图像，并提供专业分析软仵�/span>

��可配接高温热台、荧光光源、阴极发光仪、光度计筈�/span>

产品特点

��适用于所有观察方法的LED照明系统＋�/span>LED不会产生热量，以此保护样本。色温稳定，确保得出真实的可再现分析结果

��利用0.7X的全景物镜，能够获得对样本表面的快速总览

��高分辨率暗场(HDF)，为您呈现更多细芁�/span>

��UV咋�/span>OUV观察方式进一步提高了横向分辨率和纵向分辨能力

��软件强大的专业分析功能，包括晶粒度分析、相分析、铸铁分析、脱碳分析、夹杂物分析和清洁度分析