Leica EM ACE600 是一款高真空镀膜仪，真空泵采用隔膜泵和涡轮分子泵，无油真空系统，真空度可达2��10-6mbar。镀膜细腻均匀。内置石英膜厚检测器，可精确控制镀膜厚度。全自动电脑控制，自动完成抽真空，镀膜，放气等全过程，一键操作。采用当�?**的触摸屏控制，简单方便、�/span>

仪器可选离子溅射镀金属膜，满足高分辨场发射扫描电镜（FESEM）需求。可选碳丝蒸发镀碳膜，用于X-射线能谱及波谱分析，或者TEM铜网镀碳膜。还可以选择电子束蒸发方式镀膜，获得极其细腻的金属膜与碳膜，可用于DNA投影等特殊用途、�/span>

主要技术参数：

�� 可任选离子溅射模式，碳丝蒸发镀碳模式，碳棒（热阻）蒸发模式，电子束蒸发模式，双溅射模式，溅�?碳丝模式，溅�?碳棒模式，溅

�?电子束模式，双电子束模式，可兼容EM VCT100冷冻传输系统，可选辉光放电（用于网格表面亲水化）

�� **设计脉冲式碳丝蒸发方式，可精确控制碳膜厚�?/span>

�� 内置石英膜厚检测器，精确控制镀膜厚度，精度�?.1nm

�� 全自动程序控制，自动完成抽真空，镀膜，放气等过稊�/span>

�� 触摸屏控制，简单方侾�/span>

�� 采用隔膜�?涡轮分子泵，无油真空系统，真空度2��10-6mbar

�� 溅射电流�?-150mA可调

�� 方形样品�?*设计，样品仓尺寸�?00mm（宽�?#215;150mm（深�?#215;195mm（高（�/span>

�� 样品台内置旋转，工作距离调节范围�?0mm-100mm