�?nbsp; 胼�/strong>

�?nbsp;用于SiC、GaN等高温退火活化工�?nbsp;

�?nbsp;满足各种真空、气氛高温退火的激活工艹�/span>

重要参数

�?nbsp;**晶圆尺寸：满�?寸以下晶圆工艺要汁�/span>

�?nbsp;**载片量：50�?扸�/span>

�?nbsp;**加热温度�?000ℂ�/span>

装卸片方弎�/strong>

�?nbsp;立式垂直升降

�?nbsp;立式真空密封系统