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光学表面测量系统Leica DCM8
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Leica DCM8将高清共聚焦显微技术和干涉测量技术融合在一起,更添加了丰富的附加功能,使各 材料表面特性的精确再现变得便利起来。为满足您的记录需求,系统的内置百万像素CCD摄像 ?个LED光源提供非同凡响的真彩成像功?

常规技术参?/strong>

1.测量原理:非接触?D双核光学成像轮廓测定?共聚焦和干涉测量)、/p>

2.功能:高清成像、高?D形貌、轮廓、坐标、厚度、粗糙度、体积、表面纹理、光谱分析 色彩分析等

3.对比度模式:高清共聚焦、高清干涉测?PSI、ePSI、VSI)、高清明场彩色、明场、暗场、实时高清RGB 共聚焦、/p>

4.样品高度 标准型:40 mm;包括可调立柱:**150 mm;根据要求可提供更高的样品高度、/p>

5.物镜 共聚焦、明场和暗场模式下,放大倍率1.25?50;干涉测量模式下,放大倍率5 50、/p>

6.物镜转盘 6位手动式物镜转盆?位电动式物镜转盆、/p>

7.载物台扫描范?x、y、z) 垂直:z = 40 mm;水平:XY = 100x75 mm (标准),或= 300x300 mm (**) 根据要求,可提供更大的载物台、/p>

8.垂直扫描范围 共聚?0 mm,PSI20 mm,ePSI100 mm,VSI10 mm

9.照明 LED光源:红?630nm),绿?530nm),蓝?460nm)和白色、/p>

10.图像采集 CCD黑白传感器:1360x1024像素(全分辨率);黑?5FPS 真彩/共聚焦?FPS(全分辨率)?0FPS(半分辨率)?5FPS影像共聚焦、/p>

11.样品反射 0.1%-100%

12.尺寸和重 长x宽x髗 573 mm x390 mm x569 mm;重量:48kg 、/p>

13.工作条件 温度?0?5C;相对湿?RH) < 80%;海拔高? 2000 m 、/p>

14.隔振 有源或无 、/p>

15.再现?50x放大倍率) 共聚焦/VSI:误? 0.003 mm (3nm);PSI:误? 0.16nm (0.00016 mm)

16.精确?20x放大倍率) 开环:相对误差< 3%;闭环:误差< 20nm、/p>

共聚焦模

物镜放大倍率:1.25 2.5 5 10 20 50 100 150

数值孔徃0.04 0.07 0.15 0.3 0.5 0.9 0.95 0.95

视场(m):14032x 10560 7016x 5280 3508x 2640 1754x 1320 877x660 351x264 175x132 117x88

光学分辨?X/Y): (m) 3.5 2.0 0.94 0.47 0.28 0.16 0.14 0.14

纵向分辨?nm): <3000 <350 <150 <30 <15 <5 <2 <2

典型测量时间: 3-5s

干涉测量模式

物镜放大倍率:5 10 20 50

数值孔徃0.15 0.30 0.40 0.50

视场(m):3508x2640 1754x1320 677x660 351x264

光学分辨?蓝光)(X/Y)(m):0.94 0.47 0.35 0.28

光学分辨?白光)(X/Y)(m):1.12 0.56 0.42 0.33

纵向分辨?nm) PSI <0.1;ePSI < 1.0;VSI < 3.0

垂直扫描速度(m/s) VSI/ePSI?.4 17m/s

典型测量时间 PSI? 6sVSI?0s;ePSI?0s

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