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劳达贸易(上海)有限公司
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产品分类
恒温/加热/干燥设备
LAUDA Semistat热电的过程恒温器
LAUDA Viscocool粘度恒温浴槽
LAUDA ET 15 S/G粘度恒温浴槽
LAUDA Hydro组织拉伸浴槽
LAUDA Hydro蒸汽浴槽
制冷设备
LAUDA Microcool冷却水循环器
LAUDA Variocool冷却水循环器
粘度讠/a>
合成/反应设备
比表面积测定?/a>
生物工程设备
产品简今/div>
简今
热电过程恒温 适用 -20 90 C 的半导体行业
详细介绍9/span>
为苛刻的工艺过程快速和精确的温度控刵/span>
热电温度控制系统LAUDA Semistat为等离子刻蚀工艺提供稳定的可重复性的温度控制。系统动态地控制静电卡盘(ESC)的温度并可以用在任何的刻蚀工艺中。LAUDA Semistat 热电温度控制系统设计的基础是基于帕尔帖原理的温度转换, 这些原件可以实现快速且精准的温度控制,满足了当今元器件生产尺寸越来越小的要求、/span>
与基于压缩机的系统相比,热点在线使用 Semistat 温度控制系统,降低能耗多 90 %。可安装在使用地点的地下,非常节省空间,这样**限度地减少无尘室的使用。快速和精准地将过程温度曲线控制 0.1 K,从而提高晶圆间均质性、/span>
重要功能9/span>
l低能耗,没有压缩机和制冷剂的系统
l占地空间小,如果放置在地板下方则不占用Sub-Fab
l极低的导热液体填充量
技术参数:
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- LAUDA PRO循环恒温?/a>
- LAUDA ECO制冷恒温?/a>
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- LAUDA Integral XT 1590 W-反应釜专?工艺过程恒温系统
- LAUDA HKS工业级加热制冷恒温系绞/a>
- LAUDA Integral T工艺过程恒温?/a>
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- LAUDA Kryoheater Selecta过程恒温?/a>
- LAUDA Variocool冷却水循环器
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- LAUDA Viscocool粘度恒温浴槽
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- LAUDA Varioshake振荡培养箱(恒温器)
- LAUDA Semistat热电的过程恒温器
- LAUDA ET 15 S/G粘度恒温浴槽
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- LAUDA玻璃毛细管粘度计
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- LAUDA TC1表面张力?/a>
- LAUDA Hydro蒸汽浴槽
- LAUDA PRO加热恒温?/a>
- LAUDA Hydro震荡浴槽
- LAUDA Alpha加热恒温?/a>
- LAUDA PRO制冷恒温?/a>
- LAUDA Proline校准恒温?/a>
- LAUDA Integral XT反应釜专?#173;工艺过程恒温系统
劳达贸易(上海)有限公司官方展台田a href="//www.znpla.com/laboroot/">中国粉体罐/a>设计制作,工商信息已核实、br /> 公司地址:上海市静安区广中西?77?5号启迪大?F
https://laboroot.cnpowder.com.cn/
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