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哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司
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产品分类
碳化硅粉
产品简今/div>
一、设备结枃/strong>
二、设备概?/strong>
半导体材料段8寸周转片盒清洗设备，设备由上料模组、刷洗模组、清洗模组、电气模组组成、/p>
三、技术优劾/strong>
1、外观整洁、美观，**限度的减少净化间使用面积、/p>
2、采用成熟、可靠的系统结构方式，设备工作稳定可靠、/p>
四、设备参?/strong>
| 序号 | 项目 | 规范要求 | |
| 设备规格 | |||
| 1 | 设备主体结构 | 碳钢方管焊接，外 PVC 板，象牙艱/td> | |
| 2 | 设备尺寸（长*?高）/mm | 1300×1800×2400 | |
| 3 | 片盒尺寸 | 8 inch | |
| 4 | 控制方式 | 电控按钮+电气元件 | |
| 产品标准（验收工艺参数） | |||
| 5 | 产品表面金属离子 | 无残畘/td> | |
| 6 | 清洗效果 | 无杂质残畘/td> | |
| 7 | 总合格率 | ?9% | |
| 动力标准 | |||
| 8 | 电气 | 电压 | AC220V 50Hz |
| 功率 | 5KW | ||
| 9 | DIW | 压力 | 0.35MPa |
| 接口 | 25A 由令接口(C-PVC) ×1 | ||
| 10 | 废水 | 接口 | DN50 由令接口(PVC) ×2 |
| 11 | 排风 | 排风箠/td> | 200mm 法兰接口 1000m³/h×2 |
| 安全标准 | |||
| 12 | 安全标示 | 齐全 | |
| 13 | 管道流向标示 | 明确 | |
| 14 | 机电部件认证 | 通过UL/CE/CCC认证 | |
| 15 | 设备材料 | 选用阻燃材料 | |
| 16 | 人机交互按钮 | 选用安全电压 | |
| 智能制速/strong> | |||
| 17 | MES接口 | 旟/td> | |
| 18 | 软件支持 | 旟/td> | |
| 售后服务 | |||
| 19 | 交期 | 12-24?/td> | |
| 20 | 提供设备说明书和维护保养规范 | 提供 | |
| 21 | 设备培训 | 月/td> | |
| 22 | 质保朞/td> | 一平/td> | |
| 23 | 质保期售后服加/td> | 工作时间? 小时电话响应，非工作时间? 小时电话响应 | |
| 24 | 质保外售后服加/td> | 工作时间? 小时电话响应，非工作时间? 小时电话响应 | |
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