市场上使�?05纳米激光器�?*分辨�?00纳米的结枃�/p>

405纳米激光源，可用于要求更高的应�?/p>

紧凑型光学模块：使用备用光学模块减少机器停机时间

用户友好操作

独特的研发机伙�/p>

405nm光学模块将允许系�?小线宽达�?span>600纳米

能力

-市场上使用寿命长皃�span>405纳米激光器�?*分辨率、�/p>

-*小线宽达�?span>600纳米

-高达4095级的直写灰度

-375纳米激光可用于要求更高的应�?span>(选配９�span>375纳米激先�/strong>)、�/p>

-光栅模式和矢量模式可用、�/p>

-软件可控制的写入模式选择、�/p>

-实时自动聚焦成为可能、�/p>

-支持仍�span>5mm x 5mm�?span>125mm x 125mm的基松�/p>

操作

-现代的基亍�span>Microsoft Windows的用户界面允许用户友好的操作、�/p>

-高度自动化的处理，一键操作、�/p>

-远程互联网支�?/p>

安装和维抣�/p>

- MLW-100是一个紧凑的桌面系统，需�?小的清洁空间、�/p>

-紧凑型光学模块：使用备用光学模块来减少机器停机时间、�/p>

-安装快速方便：除操佛�span>PC和真空泵外，所有主要部仵�/p>

安装在外壳内、�/p>

-维护成本*低，无需定期维护、�/p>

紧凑型光学模块，具有**的稳定性和短停机时闳�/p>

完整的光学路径包含在一个小的可更换模块（光学模块）中。通过尽可能短的优化路径，与传统的优化设置相比，点稳定性大大提高。光学模块包含寿命长皃�span>405 nm激光和**光斑形状的光束整形光学元件、�/p>

特征９�/p>

-市场�?小的高品质激光束光斑、�/p>

-集成皃�span>650纳米红色激光控制自动对焦系统自动纠正高度变化、�/p>

-综合剂量控制、�/p>

-选项：对于要求较低的任务，可以使用全自动NA开关选择较大的光斑尺寸。此开关允许系统使用更大的点以提高速度、�/p>

光学特�?/p>

激光源405纳米＋�span>GaN激光器

寿命>10000小时

写入模式９�strong>0.6��m，可逈�span>1.2��m咋�span>2.0��m FWHM、�/p>

工作距离0.9毫米

**强度丹�span>3 mW，软件可控、�/p>

灰度控制4095�?/strong>

自动对焦800 Hz band宽，650nm红光激光控刵�/strong>

-0.3…x�?0.3 mm高度变化，带自动高度跟踪、�/p>

快速的音圈执行器，精确的实旵�span>Z校正、�/p>

焦距可通过软件控制进行调整、�/p>

正面对准

光学模块配备高分辨率摄像机，用于需要多层的应用。相机图像由高级成像软件处理。自动标记识别使用户很容易找到标记。用户可以设定任何形状作为标记。当在相机的视场中找不到标记时，软件支持区域扫描，以便在更大的区域中自动搜索标记。对齐和图像补偿可以基于一个、两个或三个标记、�/p>

正面对准指标９�/p>

校准照相机单艱�span>520万像素、�/p>

像素分辨玆�span>1��m

*终对准精�<0.5��m

修正算法通过扫描和步进轴之间的插值运动进行位置、比例（**5%）、倾斜、旋转（**+/-5度）旋转修正、�/p>

MLW-100配备了用于X和Y运动的高精度轴和一个用于Z运动的可选轴。扫描轴（Y）包含一个高精度燕尾形空气轴承，该轴承由带纳米分辨率编码器的直线电机驱动。步进轴（X）采用带直线电机和高分辨率光学编码器的精密滚子轴承。该系统允许极低的机械误差和快速扫描运动。可选的电动控制Z轴具�?2 mm行程，以支持各种基板厚度、�/p>

用真空吸盘夹紧基板。真空吸盘易于更换，以支持不同的基板尺寸、�/p>

机械性能

行程和阶�?*115 mm

重复�?span><50 nm RMS

分辨玆�span>10纳米

扫描速度**200 mm/s

直线度轴<1��m，在100 mm范围

样品厚度９�span>0-10 mm手动调整：�span>12 mm，安装可选电�?span>Z轴、�/p>

样品衬底厚度变化**倻�span>+/-0.2mm

样品衬底尺寸９�span>5mm x 5mm�?span>125mm x 125mm

曝光区域９�span> 100mm x 100mm