1、多种配件可选提礹�/span>2、特殊设备尺寸设夆�/strong>3、科晶实验室邀请提礹�/strong>4、配件妥善保管提礹�/span>

�?nbsp;射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度；

�?nbsp;整套设备尺寸小巧：�/span>

�?nbsp;可通过工艺调节来控制化学计量；

�?nbsp;可通过射频电源的频率来进行控制薄膜的应力、�/span>

�?nbsp;**温度�?100℃（<30min）；连续工作温度�?000℃；

�?nbsp;PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃；

�?nbsp;输入电源�?08- 240V AC，功率：1.2KW：�/span>

�?nbsp;炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维，并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层，可以提高加热效率，反射率及延长仪器的使用寿命、�/span>

更多参数请联系科晶销售部

�?nbsp;科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求、�/span>

�?nbsp;采用TRP-12的双旋真空泵：�/span>

�?nbsp;KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；

�?nbsp;真空度可�?0-2Torr、�/span>

�?nbsp;四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）；

�?nbsp;流量范围:

�?nbsp;电压�?08-240V� AC� 50/60Hz：�br/>

�?nbsp;气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管：�/span>

�?nbsp;不锈钢针阀用于手动控制气体进出：�/span>

�?nbsp;PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置、�/span>

�?nbsp;尺寸�?500mm L´600mm W´1200mm H

�?nbsp;净重：75 kg

� CE认证

� 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证

� 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证

�?nbsp;一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件）