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产品详情
1200℃三温区三通道混气CVD系统
产品简今/div>

1200℃三温区三通道混气CVD系统

  • 型号9/span>

  • OTF-1200X-80-III-F3LV

  • 产品概述9/span>

  • OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE认证的三温区管式炉CVD系统,其管径?0mm,采用机械泵,它是由管式炉,三路浮子流量供气系统组成,其真空度可达到 10-2 torr、/span>

壳体结构

·双层壳体结构并带有风冷,使得壳体的表面温度小亍/span>60?/span>

·保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维,可以减少热量的损失,环保节能

·内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

可开启式,更换炉管方侾/span>

功率

5 KW

电压

AC 208-240V单相, 50/60 Hz

加热元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

**工作温度

1200ℂ/span>

连续工作温度

1100ℂ/span>

**加热速率

?0 ?min

石英?amp; 密封法兰

·80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在仪器内

·仪器上已经安装有不锈钢真空密封法兰,压力表和阀?/span>(点击下面的图片查看详细的信息)

·blob.png

加热区长?/span>

·三个温区长度: (880mm, 35" in total)

·温区1: 220mm (8.6" )

·温区2: 440mm (17.3")

温区3: 220 mm (8.6")注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联糺/span>

温控系统


·三个精密温度控制器,可独立控?/span>

·PID控制方式,通过PWM固体继电器、/span>

·30段可编程智能温度调节仪,并可设置30段升降温程序.

·带有过热和断偶保护功胼/span>

控温仪表操作视频

控温精度

+/- 1ℂ/span>


真空密封系统

·两个不锈钢密封法?/span>(上面已安装真空计和截止阀(/span>.

·通过机械泵真空度可以达到5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用机械泵和分子泵,真空度可以达?/span>10-4 torr.

·漏气玆/span> < 5 m-torr / min

·blob.png

真空泴/span>

采用双旋机械泵,机械泵上安装有进口的油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤?小微粒直径为0.3微米
blob.png

数字式真空显示计

可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5臲/span>1125 Torr.不需因测量气体种类不同而需要系数转捡/span>
blob.png

气体流量计和压力?/span>

·三个浮子流量计,能够检测到气体的流

·三路浮子量程分别丹/span>

·10-100 cc/min.

·16-160 cc/min.

·25-250 cc/min

·内部安装有一混气罏/span>

有一压力表安装在浮子流量供气系统侧面上,可以检测气体压力及混合槽的压力

阀?/span>

四个不锈钢阀门安装在浮子流量供气系统侧面上,用于控制气体的流野/span>

外形尺寸

·炉子: 1100 X 450 x 670mm

底部移动枵/span>: 600x600x597mm

开门断甴/span>

为保证使用安全,该电炉为开门断电设讠/span>
blob.png

净里/span>

?/span>90 Kg

运输重量

245 lbs

质保朞/span>

一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈,等易耗件

质量认证

blob.pngCE certified

使用注意事项

·炉管内气压不可高亍/span>0.02MPa

·由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程丹/span>0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

·当炉体温度高亍/span>1000ℂspan style="color: rgb(0, 0, 0); font-size: 16px; font-family: 宋体;">时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状?/span>

·进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

·石英管的长时间使用温度<1100ℂ/span>

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大亍/span>0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)


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