设备用逓�

静电卡盘烧结

设备规格:

有效温区尺寸:500x800mm

加热�?钨板式压双筋加热�?上中下全方位)上下为钨网发热体隔热屏材斘�W+Mo复合屎�/p>

承载重量:2300KG(不含料架500kg)

**温度:2000℃C

工作温度:1850℃C

温度均匀�?±5℃℃(1500℃测温环测试)

升温速率:0~20°C/min(可调)

控温精度:±1°ℂ�/p>

热电偵�4组铠装钨铼热电偶极限真空�?<10Pa，真空泵和炉体之间装有过滤装�?0Min达到10Pa以下

压升玆�<5 Pa/h

空炉抽空时间:至工作真空度�?0min工艺气氛:氮气/氢气/湿氢(三质量流量计)�?*流量控制6m3/h炉内压力:压力0.03Mpa(微正�?加热功率:270KVA(峰�?

出料方式:下出�?水平行走

冷却水压劚�炉体等冷却系统进水压�?.2~0.3Mpa，回水压�?lt;0.1mpa