数控晶圆倒角机WGM-600/800为晶圆磨边、晶圆倒角的专用设备，利用精密砂轮对晶圆进行研磨整形加工。适用�?�? 6″晶圆�?�? 8″晶圅�/p>

可加工T型、R型、RR型等多种边形的晶圅�/p>

按照设定参数数控自动倒角加工

可加工参考边型晶圆及圆片

自动进行粗研及精研加�?/p>

可加工方片等异形晶圆

可自动检测晶圆直徃�/p>

配备晶圆清洗功能

配备晶圆干燥功能