全自动晶圆磨边机为晶圆倒角、晶圆磨边、键合片晶圆层阶倒角的专用设备，利用精密砂轮对晶圆进行研磨整形加工。适用�?�? 6″晶圆�?�? 8″晶圆�?�?12″晶圅�/p>

l 全自� 12�? 4″～ 8�? 2″～ 6� 晶圆磨边倒角

l Si, SiC, GaAs, LT, LN, GaN, 蓝宝石等适用

l 可进� T、R、TT、RR、TR等边形倒角

l 适用于一次倒角及二次倒角加工

l 可自动进行粗研及精研加工

l 可选配晶圆边缘抛光功能

l 配备晶圆冲洗及干燥功胼�/p>

l 具备 SECS/GEM 通讯功能

l 可与天车� AMHS 系统对接