氧化铈

推荐纳米铈基抛光材料在半导体领域的应用

www.188betkr.com 讯 铈基抛光粉被誉为“抛光粉之王”，具有抛光效率高、粒度均一、硬度适中、抛光质量好等优点，其抛光能力与氧化铈的含量、自身物理化学性质（粘度、活性）等密切相关。目前的研究表明采用纳米氧化铈作为CMP磨料，在抛光效率及[更多]