输运技术

推荐上海硅酸盐所发明多头物理气相输运技术并实现高效率碳化硅晶体制备

www.188betkr.com 讯 碳化硅晶体作为第三代半导体材料的代表，在电子电力器件、高亮度发光二级管等节能环保领域有着广泛的应用前景。然而碳化硅晶体制备存在成本高、能效低等问题，限制了碳化硅晶体在民用领域的大规模应用。相关研究工作多头物理气[更多]