抛光机理

推荐化学机械抛光，金刚石衬底材料高效制造的超精密武器

www.188betkr.com 讯 近些年来，化学气相沉积（CVD）单晶金刚石在电子学领域的应用令人瞩目，这得益于CVD单晶金刚石在生长技术和半导体掺杂技术上的进展。一直以来，成熟的衬底加工技术是半导体材料得以应用的基础，其中超精密抛光作为晶圆衬[更多]