等离子体刻蚀设备

推荐再牛的刻蚀机也离不开这些陶瓷部件

www.188betkr.com 讯 随着芯片特征尺寸的减小和卤素类等离子体能量的逐渐提高，刻蚀机工艺腔和腔体内部件的耐等离子体刻蚀性能变得越来越重要。相对于有机和金属材料，陶瓷材料一般都具有较好的耐物理和化学腐蚀性能以及很高的工作温度，因而在半导[更多]