参数

单位

XY25XS

XY200M

型号

V-XYXS25

V-XYM200

备注

-

-

传感�?/p>

SG

SG，ECS

主动轳�/p>

TX，TY

TX，TY

**空载位移[Tx，Ty]

um

25

200

Z方向**面外位移

um

0.50

1.00

Z方向�?*转动

urad

50

240

XY方向�?*转动

urad

10

50

电压范围

V

-20�?50

-20�?50

硬度

N/um

2.50

0.59

高度(Z �?

mm

18.0

22.0

尺寸(X&Y �?

mm

50*50

100*100

分辨玆�/p>

nm

0.3

2.0

质量

g

80

180

空载共振频率(在致动方�?

Hz

3000

580

响应时间

ms

0.17

0.86

电容 (每个电气接口)

uF

0.50

6.30

机械接口(有效负载)

1��17mm hole+4��1.8mm on��20mm

3��2.7mm holes on

�?8

机械接口 (框架)

4 ��2.8mm holes on []45

4 ��4.5mm holes on []84

电气接口

2 RG178B/U同轴电缆

2 RG178B/U同轴电缆