参数

单位

TT60SM

型号

V- TT60SM

备注

-

传感�?/p>

SG

主动轳�/p>

TZ，RX

**空载位移[Tz]

um

80.0

角位移[Rx]

mrad(+/-)

11.00

Y方向�?*面外位移

um

25.0

电压范围

V

-20�?50

硬度

N/um

2.0

高度(Z �?

mm

18.0

宽度(Y �?

mm

13.0

长度(X �?

mm

25.0

纵向分辨率[Tz]

nm

0.8

角度分辨率[Rx]

urad

0.1

质量

g

65

空载共振频率(在致动方�?

Hz

3000

响应时间

ms

0.17

电容 (每个电气接口)

uF

1.55

机械接口(有效负载)

平坦表面 2.5 *8mm2

机械接口(框架)

2 M2螺纹孓�/p>

电气接口

4 PTFE insulated AWG 30 wires 100 mm long with��1 banana plug