2-欧米伽法纳米薄膜热导测试系统TCN-2��

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技术特点：

这种独特的仪器采用热反射法测定纳米薄膜样品的交叉平面的热传导性；是世界上**的商品化纳米薃�/span>膜装置。主要应用在半导体器件的热设计中，需要测量低k绝缘膜、有机薄膜、半导体薄膜的热阻。研发绝缘薄膜和提高热辐射、�/span>

能够测量形成在基板上皃�/span>20臲�/span>1000纳米薄膜的法线方向热导率

使用热反射方法，通过温度振幅测量导热参数

样品制备简協�/span>

	TCN-2��
温度范围	室温
样品尺寸	20-1000nm（厚度）（沉�?0mm*20mm基板；基板厚�?.5-1mm（�/span>
测量气氛	真空