Automegasamdri-934� Series C

产品特点９�/strong>

� 新配置的专用“慢充”控制，给样品腔体提供理想的二氧化碳流体动力学，保护了大多数易脆样品：�/span>

�外部配置了PURGE后的过滤装置，保护样品，容易更换和后期维护；

◅�/span> 采用�?***的“Vortex Swirl”非机械搅拌，使PURGE完全而不至于破坏样品：�/span>

◅�/span> 高效内部封闭冷却循环系统，可以快速冷却腔体温度，缩短操作时间：�/span>

�内置SOTER冷凝器，分离废弃乙醇和废气，消除排气噪音：�/span>

◅�/span> 独特的样品室填块，可以改变样品室直径，减少液态二氧化碳的消耗量和处理时间，并兼容不同尺寸晶圆处理；

◅�/span> 内部过滤系统，过滤流进样品室的液态二氧化碳，过滤颗粒*低尺寸达�?.08��m：�/span>

◅�/span> 一次运行可以处�?�?英寸晶圆，改变样品室尺寸，每次运行也可以分别处理3英寸�?英寸晶圆�?0mm方晶：�/span>

◅�/span> 标配特氟龙兼容的4英寸�?英寸�?英寸晶圆样品架和10mm方晶样品架各1个；

◅�/span> 垂直样品室，内腔有照明，样品室盖子带观察窗；

◅�/span> 明亮的LCD触屏控制：�/span>

◅�/span> 内置出厂自动运行程序并可创建和保存个性化程序：�/span>

◅�/span> 所有内部表面适用于CO2，丙酮和超纯乙醇：�/span>

◅�/span> 可以重复设置的参数，确保结果的可重复性；

◅�/span> 集成自动控温和静态压力控制模块，确保自动安全的运行；

◅�/span> 洁净室和防静电兼容设计；

◅�/span> 所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准：�/span>