仪器简介：

• � 3 种聚焦离子束于一身的显微镜，可以实现� 10 nm 结构的超高精度加�?/h4>

  快速、精准的� 10 纳米结构加工。借助 ORION NanoFab 显微镜可在镓、氖及氦离子束之间实现无缝切换：

• 氖离子束可以快速高效地进行纳米结构加工、�/p>

• 氦离子束可以加工� 10nm 级精度的结构、�/p>

• 备选的镓聚焦离子束能够进行大块样品材料的刻蚀、�/p>

仪器特点９�/strong>

• 快速亚 10 nm 结构加工

  使用氖和氦离子束加工有超高精度要求的精细� 10 纳米结构。无论是使用溅射、气体辅助切割、气体辅助沉积或是光刻技术刻蚀材料，在� 10nm 加工应用� ORION NanoFab 均表现不凡、�/p>

• 集三种离子束显微技术于一佒�/strong>

  使用镓聚焦离子束刻蚀大块材料。利用精准的氖离子束快速完成微加工，利用氦离子束加工精细的� 10 纳米级结构。利用氦和氖离子还可以防止传� FIB 镓粒子注入引起的基体材料性质变化、�/p>

• 高分辨率成像

  借助 0.5 纳米成像分辨率，它可在同一台加工仪器中实现样品的高分辨率成像。与使用场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）成像相比，其可获得 5 � 10 倍的景深并和更丰富的图像细节、�/p>

?

Orion NanoFab 拥有纳米加工和成像引� - 配有集成软、硬件的控制系统。纳米图形发生器（NPVE）为每个 NanoFab 镜筒提供了一� 16 位扫描图形发生器，以及支持实时图案加工和成像的双信号采集硬件。通过图形化用户界面（GUI）完全控制离子束：可创建一系列可编辑的形状，如矩形、梯形、多边线、直线、折线、椭圆及点。然后，对这些形状进行矢量切割，并通过剂量和加工参数的调节进行完全的过程控刵�/p>