KASHIYAMA工业株式会社，多年来致力于真空技术的研究，不断开发进取，在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域，获得了客户的高度评价与信赖、�/span>

MU-X系列

Power Consumption 0.35kW. Extreamly Small Footprint. Roots dry pump achieved smallest energy consumption & footprint in the category. Applicable 02 for various tools. Best for clean pumping such as L/L and transfer chamber, etc.

规格�?产品	MU100X	MU180X	MU300X	MU600X	MU1218X	MU20N18X
[�?分钟] *1	1,660	3,000	5,000	10,000	20,000	30,000
极限压强 [啪] *1	1.5		0.5
电源电压 (50/60赫兹)	*2
[千瓦] *3	0.35	0.5	0.55	0.6	0.9	1.0
*4	450×230×275	550×280×299	450×230×520	530×230×520	870×380×751	1000×450×950
质量[千克]	60	95	100	120	270	410

*1)不带N 2 S-P曲线

S-P Curve

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