仪器简介：

?用于捕集8吋和6吋硅晶片表面的挥发性成分（有机污染物）�?SW-8400)

?用于捕集12吋硅晶片表面的挥发性成分（有机污染物）�?SW-12400)

?捕集单面硅晶片挥发性气体，操作简便、�/p>

?加热炉采用倒悬方式（参照下图），仅对晶片正面产生的气体进行捕集采样、�/p>

?加热�?*可加热到500℃、�/p>

?加热炉封口采用O形环（聚亚胺材质）密封，无泄露、�/p>

?一般采用PAT（内容积10ml，填�?.5g Tenax GR）捕集气体。也可选用其他厂家的相应捕

集采样管进行采样、�/p>

?配备冷却水循环装置、�/p>

?配备防过热装置、联锁安全装置、急停按钮、漏水传感器（选配）等安全防范装置、�/p>

技术参数：

方式 � 倒悬方式

捕集硅晶片尺寸： 8"�?"�?"以下需添加扩充环（12400型，12"（�/p>

O形环：封口部直径220mm（聚亚胺（�/p>

石英加热炉： 透明石英材质

加热炉加热方式： 顶板?底板独立加热方式

加热炉使用温度： 常用400℃（**可达500℃）

加热炉冷却： 冷却水循环装�?/p>

保温管： 内表面惰性化镀层处琅�/p>

吹扫气： 通常用氮气，**使用流量500ml/min

防过热装置： 电流15A，感应电�?0mA

急停按钮� 红色，蘑菇型

安全装置� 联锁结构

加压方式� 电机驱动

设备尺寸� 1140(W)��1106(H)��750(D)mm

电源� 单相AC200V�?5A?AC100V�?0A

重量� 280　Kg

标准附件９�/p>

PAT（一级吸附管）： 2支（与其它公司捕集管不配套）

PAT架： 1个（与其它公司捕集管不配套）

PAT适配器： 1个（与其它公司捕集管配套使用（�/p>

O形环� 2�?/p>

冷却水循环装置： 1台（附标准配管）

保温管： 1�?/p>

气体配管� 1套（1/16"-1/8"（�/p>

缆线� 1奖�/p>

工具� 1奖�/p>

操作说明书： 1冋�/p>

＊SW-12400型的技术规格请垂询、�/p>

主要特点９�/strong>

?用于捕集8吋和6吋硅晶片表面的挥发性成分（有机污染物）�?SW-8400)

?用于捕集12吋硅晶片表面的挥发性成分（有机污染物）�?SW-12400)

?捕集单面硅晶片挥发性气体，操作简便、�/p>

?加热炉采用倒悬方式（参照下图），仅对晶片正面产生的气体进行捕集采样、�/p>

?加热�?*可加热到500℃、�/p>

?加热炉封口采用O形环（聚亚胺材质）密封，无泄露、�/p>

?一般采用PAT（内容积10ml，填�?.5g Tenax GR）捕集气体。也可选用其他厂家的相应捕

集采样管进行采样、�/p>

?配备冷却水循环装置、�/p>

?配备防过热装置、联锁安全装置、急停按钮、漏水传感器（选配）等安全防范装置、�/p>