108auto喷金�?/strong>是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜、�/span>

主要特�?/span>

• 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损、�/span>

• 操作容易快捷，控制的参数包括放气以及氩气换气控制、�/span>

• 可用MTM-10高分辨膜厚控制仪（选件）精确测定所镀膜的厚度、�/span>

• 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率�?*的镀膜效果、�/span>

• l可使用多种金属靶材：Au＋�/span>Au/Pd＋�/span>＋�/span>Pt＋�/span>＋�/span>Pt/Pd＇�/span>Au靶为标配），靶材更换快速方便、�/span>

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技术参�?/span>

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溅射系统
样品室大導�/span>	直径120mmx 120mm髗�/span>
靶材	Au靶为标配＋�/span>Au:Pd� Pt� Pt:Pd（选件（�/span>; 规格：直徃�/span>57mmx 0.1mm厙�/span>
样品�?/span>	可以装载12�?/span>SEM样品座，高度可调范围丹�/span>60mm
溅射控制	微处理器控制，安全互�?/span>
溅射电流	微处理器控制，安全互锁，可调�?*电流40mA，程序化数字控制
溅射夳�/span>	低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩
计量�?/span>	真空９�/span>Atm - 0.001mbar，电流：0~50mA
厚度监控(选件)	使用高分辨厚度监控仪（选件）精确测定所镀膜的厚度
控制方法	具有气体换气和泄气功能，带有“暂停”控制的数字定时器（5，�/span>300s（�/span>
真空系统
真空泴�/span>	2级直连式高速真空泵
抽气速率	100L/MIN
极限真空	�? x 10-3Torr
噪音	50dB