EMS 150R S Plus�紧凑型机械泵溅射仪，适合非氧化金屝�/span>

EMS 150R E Plus�紧凑型机械泵镀碳仪

EMS 150R ES Plus‒�/span>集成了离子溅射和碳蒸镀两种沉积功能的紧凑型机械泵镀膜仪

新款改进

� 触摸屏更换成便于操作的电容触摸屏

� 固件更新，新版操作界面类似安卓系统，便于客户上手

� 新的彩色LED可视状态指示灯

� USB接口可以用于固件更新，并可将镀膜方案文件备�?复制到USB存储设备

� 可以通过USB端口�?csv格式导出过程日志文件，以便统计分枏�/p>

主要特点:

◎�/span>金属溅射或碳蒸发一体化设计，节省空闳�/span>

◎�/span>适合FE-SEM制样的精细镀膜和薄膜应用

◎�/span>涡轮分子泵高真空系统，适合不氧化贵金属和易氧化其它金属靶材

◎�/span>全自动触摸屏控制，快速数据输入，操作简協�/span>

◎�/span>可储存多个客户自定义镀膜方案：对多用户实验室十分理惲�/span>

◎�/span>预编程自动真空控刵�/span>

◎�/span>使用膜厚监控选件精确控制膜厚

◎�/span>智能系统识别，自动感知用户所插入镀膜头的类垊�/span>

◎�/span>高真空碳蒸镀，对SEM咋�/span>TEM镀碳膜应用非常理想

◎�/span>先进的碳棒蒸镀枪设计和电流控制技术，操作简单，重现性好

◎�/span> Drop-in式快速换样品台（标配旋转台）

◎�/span>真空闭锁功能，让工作腔室在待机使用时亦处于真空状�?/span>

◎�/span>不破坏真空条件下的溅射时间可长达60分钟，适合材料科研应用

◎�/span>人体工程学设计，整体成型机壳，维护、拆装容昒�/span>

技术参�?/span>:

◎�/span>工作腔室９�/span>165mm外径x 127mm髗�/span>

◎�/span>触摸屏全图像用户界面

◎�/span>靶材：标酌�/span>直径57mm x厙�/span>0.1mm Au靵�/span>

◎�/span>样品台：标配旋转台，直径60mm，转逞�/span>8-20 rpm，可选配旋转倾斜台、�/span>

◎�/span>真空系统９�/span>双程旋转机械泴�/span>

◎�/span>极限真空度：2 x 10^-2mbar

◎�/span>溅射真空度：3 x 10^-2mbar不�/span>5 x 10^-1mbar之间

◎�/span>溅射电流９�/span>0-80mA

◎�/span>溅射时间�?镾�/span>60分钟

◎�/span>碳蒸发：稳定的无纹波直流电源控制的脉冲蒸发，确保碳棒可重复蒸碳，电流脉冲1~90A、�/span>

◎�/span>尺寸和重量：仪器机箱585mm宼�/span>x 470mm镾�/span> x 410mm髗�/span> (总高: 650mm)