采用新型微波反应腔，有效沉积面积大而均匀；掀盖式腔体开合，便利操作及腔体清洁，生产效率高，更加适用于批量化工业产品的制备；

定制类型

1.偏压垊�/span>MPCVD设备，在标准型设备的基础上（无任何功能删减），可根据客户要求提供不同偏压范围的定制型MPCVD设备、�/span>

2.微波频率2450Mhz�?*微波输入功率15kw型MPCVD设备，可根据客户要求，提供高功率MPCVD设备、�/span>

3.客户提出的其他定制需求、�/span>