高频等离子表面处理装�?/span>

�操作�?#183;功能

� 射频13.56Mhz 0-1000W高功率机型，DP和RIE标配的双模等离子清洗机，可对应更多复杂工�?

� 标准配备电离式真空计，实时显示真空度，使得控制更为精确、�/span>

� 液晶触摸屏控制，操作使用简单，调取数据简单、�/span>

�安全�?#183;保护

� 标准配备真空泄漏检测功能，可以根据需要检查设备的真空以及泄漏情况、�/span>

� 装载有过电流漏电保护、真空泵、RF发生器，以及电源各部分均标准配备过电流漏电保护装置、�/span>

� 发生器保护回路：超负荷或者RF发生器发生问题时，可自动调低频率来保护发生器、�/span>

� 门锁开关：门在未完全关闭时无法启动电源、�/span>

� 侧板锁：本体侧板突然打开或者未关好时，会停止电源、�/span>

� 紧急停止按键（EMO）标准配备、�/span>

� 当装置发生异常时，装置本体发出警告信号的同时，进行以下动�?）关闭主阀。（2）关闭供气阀。（3）停止输出振荡器�?4)停止处理时间。（5）声光报�?/span>

�产品优势

●等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广、�/span>

●DP&RIE双模处理，可对应更复杂的工艺、�/span>

●搭载高精度适配器，高性能RF电源、�/span>

●可变电极构造提高等离子处理效果、�/span>

●安全保护措施绵密，有效防止对机器以及样品的损害、�/span>

●可根据需求的具体情况提供产品定制服务、�/span>

�技术规栻�/strong>

型号		V1000
方式		DP&RIE双模标准装备
性能	发生器功率：	0-1000W
	叐�/span>生器频率９�/span>	射频RF13.56Mhz
	发生器匹配方式：	自动匹配＇�span>Auto matching)
构成	腔体材质９�/span>	铝制腔体
	腔体内尺寸：	400��400��384mm�?span>61.4L
	电极尺寸９�/span>	300mm��300mm
	反应气体９�/span>	双路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气佒�/span>
	填充气体９�/span>	一路氮氓�/span>
	控制方式９�/span>	全自动控制，5.7寸液晶触摸屏
	真空度显示：	测量高真空的电离式真空计标准配备，实时显示腔体内真空�?/span>
	配管材质９�/span>	SUS不锈钢以及特氟龙
	门：	铰链�?/span>
	涂装颜色９�/span>	标准色，白系
	外形尺寸９�/span>	W700��D800��H1600mm（高度含警报灯）
	真空泵：	无油干式真空�抽逞�/span>100m3/hour，吸气口NW40＋�/span>排气叢�span>NW25
	电源规格９�/span>	3phase AC200V50/60Hz8A
	重量９�/span>	�?span>215kg
附属�?/span>		真空管件一套、真空转接接头一奖�/span>