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操作?/span>功能
射频13.56Mhz 0-200W高功率机型，发生器自动匹配，无需调节反射波，进一步增加的操作的便捷性、/span>
标准配备数字式皮拉尼传感器，实时显示真空度，使得控制更为精确、/span>
高硼硅玻璃腔体非常适合于实验室处理比较纯净的精元、硅片等样品，无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染、/span>
安全?/span>保护
装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯，可实时监测和了解机器的运转状态、/span>
装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能、/span>
产品优势
●等离子清洗机清洗效果好，清洗过程中无废液产生，安全环保、/span>
●几乎所有的材质样品都可以进行等离子清洗、/span>
●等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理、/span>
●高效的特制电极，保证等离子体能够均匀产生、/span>
规格９/span>
型号 |
PR200 |
PR301 |
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方式 |
DP模式、圆柱形腔体 |
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性能 |
发生器功率： |
0-200W |
0-300W |
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发生器频率： |
射频RF13.56Mhz |
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发生器匹配方式： |
自动匹配＇span>Auto matching) |
手动匹配＇span>manul（/span> |
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构成 |
腔体材质９/span> |
高硼硅玻璂/span> |
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腔体内尺寸： |
100L160mm |
118L160mm |
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反应气体９/span> |
一路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体、/span> |
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控制方式９/span> |
半自动控刵/span> |
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真空度显示： |
数字式皮拉尼传感器，实时显示腔体内真空度、/span> |
模拟式压力表 |
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配管材质９/span> |
SUS不锈钢以及特氟龙 |
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门： |
铰链?/span> |
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外形尺寸９/span> |
W350D400H500mm |
W438D520H630mm |
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真空泵抽速： |
4m3/hour |
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电源规格９/span> |
AC220V 10A |
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重量９/span> |
?span>25kg |
?span>34kg |
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附属?/span> |
真空管件一套、真空转接接头一套、试料托盘一枚、/span> |
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