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YAMATO光刻胶固化炉
YAMATO光刻胶固化炉的图?/></a></div></div></div>         <div class=
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暂无
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日本
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产品简今/div>

(依 JTM 规格 (/span>

使用温度范围 室温 +50?0 0ℂ/span>

温度调节精度 0. 5℃(at 45 0 无负荷状态下(/span>

温度分布精度 5℃(at 45 0 无负荷状态下(/span>

JTM 标准规定 根据有效尺寸 1/6 处,含槽内中心点共测?炸/span>

运行 程序运行(升 ,恒温,降温 ,定 (/span>

定时机能 1min?9h59min?00?99h+/span>

升温速率 ?0min (150?50℃≥7.5?min ,全程平 )

洁净 温度恒定 100 ?/span>

氧浓 20 ppm 以下

真空 100Pa 以下

真空到达时间 ?5min

工作状态指示:触摸屏上有工作过程(抽真空中 -N2置换 -氧浓度检测中-加热中 N2维持 -恒定 -冷却 -抽真空中 -空气进入 -结束(/span>

速/span>

外装材质 冷扎彩钢 ,表面喷塐/span>

内装承压体材 SUS 316不锈钢板 +/span>

断热 硅酸铝棉松/span>

加热 铠装不锈钢加热管 380 4.0KwX3=12Kw

加热?20 300 w X 14 = 4.2Kw

组合式送风 离心风叶 230 X 130-1个,风量 L=1800m3/h

变频调速电?80V ?450/min转)

N2喷管 N2喷头

水冷 SUS盘管换热?/span>

过滤 耐高温效过滤网HEPA( 过滤?.3m粒子99.9995%以 )

单门正前 ,门开口W660 660

外形尺寸 本体 W1150 D1215 H1697(设置时、以及突起物除外

内室尺寸 W600D600H600mm

容积 216 L

棚受段数 17?30mm (高度方向均分)

棚板数量 2枙/span>

N2外接进气接头 快换接头10mm 一 、/span>

冷却水接 快换接头10mm?#966;16mm各一 、/span>

测试 左侧 1 KF16 温度分布精测试口?个内螺纹1/4的接头,用于氧浓度和洁净度的检 、/span>

电磁阀 控制真空 N2 、水的通断时序、/span>

重量 : 320g

:AC380V 35W 50Hz 30A以下

计装

温度调节 液晶触摸屏加PLC PID控制,液晶显示,触摸按键设置、/span>

温度传感 K型热电??/span>

压力控制 数字弎/span>

压力变送器 相对值压力变送器

压差 用于测量内槽与空调间之的压差以此为依据来判定过滤器是否需清洁、/span>

变频 用与调节风机转速(由触摸屏设定风机频率(/span>

玻璃转子流量 a.300L/min用于快速并保证槽内的氧浓度?0ppm以下 、/span>

b.15-25L/min用于维持槽内的氧浓度?0ppm以下,另加预热器保证进入槽内N2温度在槽内设定温度, 干扰槽内的均匀度

氧浓度分析仪 检测槽内氧浓度?0ppm以下在加热,

真空 爱发科双级有油旋片式真空泴/span>

温度过升防制 用于温度异常过升的防止,

电磁阀 用于控制抽真空 N2和冷却水的开闭

强制门锁 2夃/span>

保护装置

漏电保护开 本体 380 漏电保护开兲/span>

漏电,短路,过电流保抣/span>

额定感度电流 30mA

过热防止回路 温度异常过升时,加热器电源断开、电机风叶动作,并报?/span>

送风机电机: 当电机过负荷时、加热器电源断开保护回路,并报警

N2异常 氮气流量不足,加热停止,并报?/span>

冷却水异 流量不足,报?/span>

门锁 工作时门自动?/span>

门开 门未关闭好,机器不会启动,按启动键,给出报警、/span>

异常显示 当上述异常发生时、触摸屏上报警提示框异常显示故障内容 ,蜂鸣器响、/span>

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