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产品详情
YAMATO高温无氧烘箱/厌氧高温气氛炉DTN系列
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日本
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洁净?00级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等、/span>

▟/span>特点9/span>
MAX工作温度 360℃和 500℃、洁净 100 级、氧浓度低于20ppm,主要应用于固化半导体晶圆(光刻 PI、PBO 固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等、/span>
采用耐热高性能高效过滤器,箱内洁净度始终保持在 100 级,可在洁净的环境下进行高温烘烤、/span>
高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2 消耗量极低、/span>
通过磁密封保持高气密性,并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响、/span>
可实现快速升温和降温,升降温速率可调节、/span>
标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收、/span>
▟/span>安全性:
●拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电漏电保护开关等安装装置、/span>
▟/span>规格9/span>

▟/span>本体各部分的名称和功能:

■操作面板各部位名称和功能:

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