硅锭尺寸

840mm×840mm×390mm

生产玆�/span>

600kg｝�/span>650kg/炈�/span>

生产周期

｝�/span>70hr,产能｝�/span>7.5MW/平�/span>

**温度

1600ℂ�/span>

常用工作温度

1560ℂ�/span>

硅锭生长速率

1.2-1.4cm/hr

炉内极限真空�?/span>

1Pa

系统漏率

<0.0075Pa.m3/s

氩气

｝�/span>100m3/�?/span>

冷却氳�/span>

�?/span>140L/min

额定加热功率

165kW

每炉加热器功耖�/span>

｝�/span>4000度（投料650kg（�/span>

其他能耖�/span>

｝�/span>500�?/span>

单位能耖�/span>

｝�/span>7�?/span>/kg

铸锭良率

平均大于70%（正常配料）

转换效率

17.4%-17.6%

准单晶生产能劚�/span>

具备

高效多晶生产能力

具备