硅锭尺寸

996mm×996mm×535mm

生产玆�/span>

1000kg｝�/span>1200kg/炈�/span>

生产周期

1000kg锭～80hr,产能｝�/span>11.5MW/平�/span>

**温度

1600ℂ�/span>

常用工作温度

1560ℂ�/span>

硅锭生长速率

1.0-1.2cm/hr

炉内极限真空�?/span>

1Pa

系统漏率

<0.0075Pa. m3 /s

氩气

｝�/span>160 m3/�?/span>

冷却氳�/span>

�?/span>140L/min

控温点数野�/span>

顶部、侧面分区控温（2个控温点（�/span>

额定加热功率

200kW

每炉加热器功耖�/span>

｝�/span>5000度（投料1000kg（�/span>

长晶控制辅助

气冷辅助成核装置（选配（�/span>

其他能耖�/span>

｝�/span>800�?/span>

单位能耖�/span>

｝�/span>5.8�?/span>/kg

铸锭良率

平均大于72%（正常配料）

转换效率

17.5%-17.7%

准单晶生产能劚�/span>

具备

高效多晶生产能力

具备