1

结构形式

单层英管+水冷屏蔽�?/span>

双层水冷石英箠�/span>

双层水冷石英箠�/span>

2

晶体尺寸（吋（�/span>

4-6

4-6

6-8

3

内石英管尺寸＇�span style="font-family: Calibri;">mm（�/span>

Φ380×1100

Φ380×1170

Φ410×1170

4

加热方式

电磁感应

电磁感应

电磁感应

5

加热功率＇�span style="font-family: Calibri;">kw（�/span>

60

40

40

6

加热频率＇�span style="font-family: Calibri;">kHz（�/span>

8

8

8

7

**温度＇�/span>ℂ�/span>（�/span>

2400

2400

2400

8

测温方式

上、下

上、下

上、下

9

温度测控范围＇�/span>ℂ�/span>（�/span>

1000-3000

1000-3000

1000-3000

10

温度控制精度＇�/span>ℂ�/span>（�/span>

±0.5

±0.5

±0.5

11

控温模式

功率控制模式

上部温度控制模式

下部温度控制模式

功率控制模式

上部温度控制模式

下部温度控制模式

功率控制模式

上部温度控制模式

下部温度控制模式

12

炉内真空度（Pa（�/span>

6－�span style="font-family: Calibri;">00E-04

6－�span style="font-family: Calibri;">00E-04

6－�span style="font-family: Calibri;">00E-04

13

抽气速率＇�span style="font-family: Calibri;">mbar*l/s（�/span>

800L/s

800L/s

800L/s

14

漏气率（mbar*l/s（�/span>

5.00E-09

5.00E-09

5.00E-09

15

线圈升降速度＇�span style="font-family: Calibri;">mm/h（�/span>

0.02-2

0.02-2

0.02-2

16

线圈升降距离＇�span style="font-family: Calibri;">mm（�/span>

�?/span>200

�?/span>300

�?/span>300

17

坩埚升降速度＇�span style="font-family: Calibri;">mm/min（�/span>

�?/span>150

�?/span>150

�?/span>150

18

坩埚升降距离＇�span style="font-family: Calibri;">mm（�/span>

�?250

�?/span>850

�?/span>850

19

坩埚旋转速度＇�span style="font-family: Calibri;">rpm（�/span>

0.1-20

0.1-20

0.1-20

20

炉盖开启方弎�/span>

气动升降

手动旋转

气动升降

手动旋转

气动升降

手动旋转

21

气体溏�/span>

N2/Ar/H2

N2/Ar/H2

N2/Ar/H2

22

冷却水压力（MPa（�/span>

0.15-0.2

0.15-0.2

0.15-0.2

23

冷却水流量（m3/h（�/span>

5

6

6

24

冷却水温度（ℂ�/span>（�/span>

＇�span style="font-family: Calibri;">22-26（�/span>±2ℂ�/span>

＇�span style="font-family: Calibri;">22-26（�/span>±2ℂ�/span>

＇�span style="font-family: Calibri;">22-26（�/span>±2ℂ�/span>

25

冷却水质

PH6-8，软化纯净氳�/span>

PH6-8，软化纯净氳�/span>

PH6-8，软化纯净氳�/span>

26

装卸料位�?/span>

上�/span>

上、下

上、下

27

整机控制方式

全自�?/span>

全自�?/span>

全自�?/span>

28

主机尺寸

1400×2100×3800

1400×2100×3600

1680×2200