DRX-95型下降炉主要技术参数与性能描述

主要技术参数：

序号	� �?/span>	� �?/span>	� �?/span>
1	加热功率	3x5kW	3段式加热
2	**加热温度	1200ℂ�/span>
3	工作腔尺寷�/span>	Φ950x1600
4	坩埚轴行稊�/span>	480
5	坩埚升降速度	慢逞�0.01-2mm/h 快逞��?00mm/min
6	生长晶体数量	8�?10�?--1核�/span> 5�?7�?---4核�/span> 3�?4�?---6核�/span>	根据用户要求而定
7	冷炉真空�?/span>	1Pa
8	控温精度	≤�?.1ℂ�/span>
9	主机占空面积	3000×4000×5000	长×宽×髗�/span>

性能描述:

1�?nbsp;触摸�?PLC控制;科学合理、稳定可靠的工艺热场是生长高质量晶体材料的关键条件；

2�?nbsp;3段加热分别有欧陆控温仪控制；

3�?nbsp;温度/下降速度/位移等多种工艺参�?工艺曲线存储：�/span>

4�?nbsp;温度梯度设置范围:横向梯度 �?.5�?cm

纵向温度梯度:5�?-30�?cm可设�?/span>

5�?nbsp;密闭环境下的坩埚下降设备——采用密闭腔�?真空或气氛条�?多坩埚下降法晶体生长技术，兼顾了密闭环�?真空或气氛条�?环境和坩埚下降法的优点，有利于稳定热�?确保生长出高质量的晶体，防止原料氧化和水解对性能的危害，同时也可防止组分在高温下的挥发和泄露，避免环境污染；

6�?nbsp;多坩埚公转自转技术——保证每只坩埚受热均匀，温度一致，晶体质量均衡：�/span>

7�?nbsp;节能环保——加热器采用多段式加热方式，可根据不同工艺要求精确控制各段加热器，在消�?低电能的情况下获得理想工艺条件下；同时，采用密闭的工作腔，不但有利于晶体生长工艺参数的精准获得，有利于工艺气体的有序流动，更有利于废气的集中排放和处理、�/span>

8�?nbsp;炉底与坩埚运动系统同步升�?在保证坩埚位置精度、运动精度的同时,方便在设备底部装卸料、�/span>

9�?nbsp;炉盖可以升起旋转开，便于安装、调整热场、�/span>