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声达半导体设备(江苏)有限公号/p>

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晶圆兆声单面刷洗甩干朹/p>

晶圆兆声单面刷洗甩干朹/div>
  • 品牌9span>江苏声达
  • 产地9span>江苏
  • 关注度:236
  • 型号9span>晶圆兆声单面刷洗甩干朹/span>
  • 报价9span class="jg_red">面议
  • 信息完整度:
核心参数
    产品介绍

    适用工件9/p>

    (Applicable parts)

    6?8寸蓝宝石或碳化硅

    6"/8“Sapphire or SiC Wafer

    批量产能9br style="box-sizing: border-box;"/>(Capacity)

    60s/pcs

    工艺流程9/p>

    (Procedure Flow)

    上料 晶圆定位→旋转刷洗及二流体喷?硅面)→翻?80度→旋转刷洗、兆声波喷洗(碳面)→旋转甩干→下料
    Load→Location→Rotation,brushing,cleaning,two-fluid spraying(Si side)→Turn over 180 degree→Rotation,
    brushing,cleaning,megasonic spraying(C side)→Rotation,
    Spin-Drying→Unload
    主要材料9br style="box-sizing: border-box;"/>(Major Material) 金属骨架+PP瓷白壳板
    Metal Frame+PP white board
    运送方式:
    (Transportation)
    通过洁净机械手进行晶圆传辒br style="box-sizing: border-box;"/>Wafer transported by clean robotic hand

    工艺效果9/p>

    (Process effect)

    a.particle size0.3~0.5um,remove %>90%or <200e.a;

    b.particle size0.5~1um,remove%>95%or <10e.a、/p>

    PS:inspection machine is for Candela or SICA


    问商宵/div>

    • 晶圆兆声单面刷洗甩干机的工作原理介绍>/li>
    • 晶圆兆声单面刷洗甩干机的使用方法>/li>
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    工商信息

    企业名称

    声达半导体设备(江苏)有限公号/span>

    企业类型

    信用代码

    91320582MAC8E0AL87

    法人代表

    注册地址

    成立日期

    注册资本

    有效期限

    经营范围

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    声达半导体设?江苏)有限公司公司位于江苏省张家港市,是超声电?集团)的全资子公司。公司拥有资深的研发团队,同时有数名来自海外知名半导体企业专家顾问团阞是一家集设备开发、制造、销售于一体的多元化企业。我们为广大客户提供原材料、零部件、半导体装备和工艺的整体解决方案。公司目前还同江苏科技大学共同设立了“半导体湿法工艺技术研究所”,在半导体纳米级清洗技术、多功能一体化设备、高通量清洗技术等半导体湿法清洗前沿技术领域深度合作。同时对标美、日等知名半导体设备公司,不断完
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