声达半导体设备(江苏)有限公号/p>
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适用工件9br style="box-sizing: border-box;"/>(Applicable parts) | 6"*1花篮?"*1 pc花篮 6?1 Cassette,8?1 pc Cassette |
批量产能9br style="box-sizing: border-box;"/>(Capacity) | 1 batch/10min |
工艺流程9br style="box-sizing: border-box;"/>(Procedure flow) | 上料(手动)→超声碱性槽→HQDR槽→下料(手动) Load(Manual)→Ultrasonic Alkaline Tank→HQDR Tank→Unload (Manual) |
主要材料9br style="box-sizing: border-box;"/>(Major material) | 金属骨架SUS304+PP乳白板,槽体采用PPN/SUS316 (Metal frame SUS 304,Ice-cream PP board,Tank uses PPN/SUS316) |
运送方式: (Transportation) |
手动传?br style="box-sizing: border-box;"/>(Manual) |
节拍时间9br style="box-sizing: border-box;"/>(Step time) | 依工艺可谂br style="box-sizing: border-box;"/>(Based on process,Adjustable) |
工艺效果9br style="box-sizing: border-box;"/>(Process effect) | 清除晶圆片表面的残余抛光液和大颗?Removal residual slurry and larger particle on the surface of wafer) |
其他说明9br style="box-sizing: border-box;"/>(Others) | 设备可以根据客户要求定制手动/半自?br style="box-sizing: border-box;"/>(Customized:Semiautomatic or manual) |
适用工件9br style="box-sizing: border-box;"/>(Applicable parts) | 6"*1花篮?"*1 pc花篮 6?1 Cassette,8?1 pc Cassette |
批量产能9br style="box-sizing: border-box;"/>(Capacity) | 1 batch/10min |
工艺流程9br style="box-sizing: border-box;"/>(Procedure flow) | 上料(手动)→超声碱性槽→HQDR槽→下料(手动) Load(Manual)→Ultrasonic Alkaline Tank→HQDR Tank→Unload (Manual) |
主要材料9br style="box-sizing: border-box;"/>(Major material) | 金属骨架SUS304+PP乳白板,槽体采用PPN/SUS316 (Metal frame SUS 304,Ice-cream PP board,Tank uses PPN/SUS316) |
运送方式: (Transportation) |
手动传?br style="box-sizing: border-box;"/>(Manual) |
节拍时间9br style="box-sizing: border-box;"/>(Step time) | 依工艺可谂br style="box-sizing: border-box;"/>(Based on process,Adjustable) |
工艺效果9br style="box-sizing: border-box;"/>(Process effect) | 清除晶圆片表面的残余抛光液和大颗?Removal residual slurry and larger particle on the surface of wafer) |
其他说明9br style="box-sizing: border-box;"/>(Others) | 设备可以根据客户要求定制手动/半自?br style="box-sizing: border-box;"/>(Customized:Semiautomatic or manual) |
企业名称
声达半导体设备(江苏)有限公号/span>企业类型
信用代码
91320582MAC8E0AL87法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围