声达半导体设备（江苏）有限公号�/title>

公司介绍

声达半导体设�?江苏)有限公司公司位于江苏省张家港市，是超声电�?集团)的全资子公司。公司拥有资深的研发团队，同时有数名来自海外知名半导体企业专家顾问团阞�是一家集设备开发、制造、销售于一体的多元化企业。我们为广大客户提供原材料、零部件、半导体装备和工艺的整体解决方案。公司目前还同江苏科技大学共同设立了“半导体湿法工艺技术研究所”，在半导体纳米级清洗技术、多功能一体化设备、高通量清洗技术等半导体湿法清洗前沿技术领域深度合作。同时对标美、日等知名半导体设备公司，不断完善自身管理，以创新的意识，严谨的作风，培养塑造人才梯队；以目标为导向，流程制度化、管理精细化、结果可视化来打造优秀的团队，严谨的管

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主推产品

手动SPM清洗朹�/a>

型号：手动SPM清洗朹�/div>

适用工件�?Applicableparts)4�?2pcs,6�?2pcs,8"*1pc晶圆�?�?2pcs,6�?2pcs,8�?1pcWafer批量产能�?Capacity)1batch/30min工艺流程�?Procedureflow)LOAD(手动)→SPM槽→HQRD槽→HOF槽→UNLOAD(手动)主要材料�?Majormaterial)金属骨架SUS304+PP瓷白板，槽体采用PPN/石英(MetalframeSUS304,PPboard,thetankusesPPN/silicon)运送方式：(Transportation)手动传�?Manual)节拍时间�?Step

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晶圆兆声单面刷洗甩干朹�/a>

型号：晶圆兆声单面刷洗甩干机

适用工件�?Applicableparts)6�?8寸蓝宝石或碳化硅6"/8“SapphireorSiCWafer批量产能�?Capacity)60s/pcs工艺流程�?ProcedureFlow)上料→晶圆定位→旋转刷洗及二流体喷洗(硅面)→翻�?80度→旋转刷洗、兆声波喷洗(碳面)→旋转甩干→下料Load→Location→Rotation,brushing,cleaning,two-fluidspraying(Siside)→Turnover180degree→Rotation,brushing,cleaning,megasonicspraying(Cside)→Rotatio

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CDS供液系统

型号：CDS供液系统

适用工件(Applicableparts)化学药液、抛光液/Chemist,Polishing批量产能�?Capacity)15L/min工艺流程�?Procedureflow)配液→混液→供液Compounding→Mixing→Supplying主要材料�?Majormaterial)金属骨架+PP壳板，泵体采用PVDF气动隔膜�?全氟气动风囊�?Metalframe+PPshellplate,PVDFpneumaticpump/perfluorpneumaticpump其他说明�?Others)设备可以根据客户要求原液桶一备一用，可配置专用鹰嘴抱桶车-Customerizedwithon

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手动SPM清洗朹�/p>面议

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