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LEBO 旋涂 EZ6
规格参数９/strong>
1、旋涂基?英寸或更導/p>
2、包括三个真空旋转卡盗/p>
3、用于手套箱的占地面积小
4、易于使用的触摸屏界靡/p>
5、可编程旋涂工艺
6、耐用的设计以及耐化学腐蚀的材斘/p>
7、耐化学腐蚀HDPE旋转碖/p>
8、耐用的不锈钢机身，具有耐化学腐蚀的透明旋转盕/p>
9?.3”触摸屏界面
10、基板尺寸：?厘米?英寸晶圆
11、转速范围：100-12000 RPM
12、转速分辨率?RPM
13、加速范围：空载100-30000 RPM / s
14、程序：10个旋转程序，每个程序?0个步骣/p>
15、安全：真空联锁和旋转盖联锁
16、尺寸：270(W)*387(D)*258(H)
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