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LEBO旋涂仪EZ6
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江苏
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LEBO 旋涂 EZ6

规格参数9/strong>

1、旋涂基?英寸或更導/p>

2、包括三个真空旋转卡盗/p>

3、用于手套箱的占地面积小

4、易于使用的触摸屏界靡/p>

5、可编程旋涂工艺

6、耐用的设计以及耐化学腐蚀的材斘/p>

7、耐化学腐蚀HDPE旋转碖/p>

8、耐用的不锈钢机身,具有耐化学腐蚀的透明旋转盕/p>

9?.3”触摸屏界面

10、基板尺寸:?厘米?英寸晶圆

11、转速范围:100-12000 RPM

12、转速分辨率?RPM

13、加速范围:空载100-30000 RPM / s

14、程序:10个旋转程序,每个程序?0个步骣/p>

15、安全:真空联锁和旋转盖联锁

16、尺寸:270(W)*387(D)*258(H)

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