Nanonex纳米压印系统NX-2500

产品特点９�/strong>

1� 热塑匕�/span>

2� 紫外固化

3� 热压与紫外压印同时进�

4� 热固匕�/span>

5、气垫软压技�?ACP)

6、Nanonex**技�?/span>

7� **的整片基板纳米压印均匀�?/span>

8、高通量

9、低�?0nm分辨玆�/span>

10、亚1微米对准精度

11、快速工艺循环时间（小于60秒） 灵活�?/span>

12�?″， 6″， or 8″压印面积可选择各种尺寸及不规则形状樠�/span>板与基板均可压印

13、方便用户操佛�/span>

14、基于超�?2年�?5代产品开发经验的自动化压印操作，Nanonex压印系统经过大量实时实地验证，质量可靠，性能优越稳定

15、全自动纳米压印

规格参数９�/strong>

1、热塑压印模坖�/p>

温度范围0�?50oC

加热速度>300oC/分钟

制冷速度>150oC/分钟

压力范围0 � 3.8 MPa�?50 psi（�/p>

2、紫外固化模坖�/p>

200W窄带紫外光源

365纳米�?95纳米波长可�

全自动化控制

3、对准模坖�/p>

<1��m 3��对准准确玆�/p>

X� Y� Z� Theta平台

分场光学和CCD相机

4、模版装载功胼�/p>

4�?5�?6″模版可用于标配纳米压印

5、系绞�/p>

8”模板可升级

6、基板装轼�/p>

标配纳米压印系统可装�?″基松�/p>

6″和8″基板可逈�/p>

各种尺寸及不规则形状模板及基

7、板均可压印

独特**保护ACP技术可陏�/p>

8、度保护基板和模板，特别对于象磷化铟（InP）等极易碎模板和 基板给予限度保护、�/p>