108C Auto镀碳仪是一个紧凑的，易于使用的镀碳仪，主要用来给不导电的样品镀一层碳膜，用于扫描电镜能谱分析�?成熟的镀碳仪之一、�/span>

主要特�?/span>

l独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约20nm左右进行多次蒸发，无须切削或调整碳棒形状、�/span>

l108CAuto中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑，容易操作，抽真空周期短。选件MTM-10高分辨膜厚监控仪可以精确地得到所需的碳膜厚度、�/span>

l使用新型的蒸发装置：电流和电压通过磁控头的传感线监控，蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低，碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作、�/span>

l可选择手动或自动方式操作、�/span>

l自动模式下，蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下，独特的设计允许以脉冲或连续的方式操作，并通过旋钮控制输出电压、�/span>

l可配夆�/span>MTM-10高分辨膜厚监控仪（选件）。分辨率优于0.1nm。在15nm臲�/span>25nm的碳膜厚度范围内，重现性可优于5％、�/span>