溅射系统

样品室大導�/span>

直径120mmx 120mm髗�/span>

靶材

Au靶为标配＋�/span>Au:Pd� Pt� Pt:Pd（选件（�/span>;

大小：直徃�/span>57mmx 0.1mm厙�/span>

样品�?/span>

可以装载12�?/span>SEM样品座，高度可调范围丹�/span>50mm

溅射控制

微处理器控制，安全互�?/span>

溅射电流

5~45mA可调

溅射夳�/span>

低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩

计量�?/span>

真空９�/span>Atm - 0.001mbar，电流：0~50mA

厚度监控(选件)

使用MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）精确测定所镀膜的厚度

控制方法

具有气体换气和泄气功能，带有“暂停”控制的数字定时器（5，�/span>300s（�/span>

真空系统

真空泴�/span>

2级直连式高速真空泵

抽气速率

3.0 m3/小时，真空度�?/span>0.1mb所需时间30科�/span>.

极限真空

5 x 10-3mba

桌上系统

真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统