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150T Plus为紧凑的分子涡轮泵镀膜系统,适合SEM?/span>TEM及许多薄膜应用、/span>
150T Plus集成了溅射和碳蒸镀两种沉积镀膜功能的高分辨镀膜系绞/span>
新款改进
触摸屏更换成便于操作的电容触摸屏
固件更新,新版操作界面类似安卓系统,便于客户上手
新的彩色LED可视状态指示灯
双核ARM处理器,可快速响库/p>
USB接口可以用于固件更新,并可将镀膜方案文件备?复制到USB存储设备
可以通过USB端口?csv格式导出过程日志文件,以便统计分枏/p>
主要特点:
◎/span>金属溅射或碳蒸发一体化设计,节省空闳/span>
◎/span>适合FE-SEM制样的精细镀膜和薄膜应用
◎/span>涡轮分子泵高真空系统,适合不氧化贵金属和易氧化其它金属靶材
◎/span>全自动触摸屏控制,快速数据输入,操作简協/span>
◎/span>可储存多个客户自定义镀膜方案:对多用户实验室十分理惲/span>
◎/span>预编程自动真空控刵/span>
◎/span>使用膜厚监控选件精确控制膜厚
◎/span>智能系统识别,自动感知用户所插入镀膜头的类垊/span>
◎/span>高真空碳蒸镀,对SEM咋/span>TEM镀碳膜应用非常理想
◎/span>先进的碳棒蒸镀枪设计和电流控制技术,操作简单,重现性好
◎/span> Drop-in式快速换样品台(标配旋转台)
◎/span>真空闭锁功能,让工作腔室在待机使用时亦处于真空状?/span>
◎/span>不破坏真空条件下的溅射时间可长达60分钟,适合材料科研应用
◎/span>人体工程学设计,整体成型机壳,维护、拆装容昒/span>
技术参?/span>:
◎/span>工作腔室9/span>165mm外径x 127mm髗/span>
◎/span>触摸屏全图像用户界面
◎/span>靶材:标酌/span>直径57mm x厙/span>0.3mm Cr靵/span>
◎/span>样品台:标配旋转台,直径60mm,转逞/span>8-20 rpm,可选配旋转倾斜台、/span>
◎/span>真空系统9/span>
涡轮分子泵:带有空气冷却的涡轮分子泵
旋转机械泵:双程旋转机械泴/span>
◎/span>极限真空度:5 x 10-5mbar
◎/span>溅射真空度:5 x 10-3?/span> 5 x 10-1mbar之间
◎/span>溅射电流9/span>0-150mA;可预设膜厚或使用内置定时器(选配(/span>
◎/span>溅射时间?镾/span>60分钟
◎/span>碳蒸发:稳定的无纹波直流电源控制的脉冲蒸发,确保碳棒可重复蒸碳,电流脉冲1~90A、/span>
◎/span>尺寸和重量:仪器机箱585mm宼/span>x 470mm镾/span> x 410mm髗/span> (总高: 650mm)
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