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二氧化硅粈/a>
石英
其他
电子级石英砂产品简今/strong>
产品定义
电子级石英砂是经超纯化工艺处理的高端石英材料,专为半导体、光电子等精密产业设计,核心指标丹strong>超低放射性元素含野/strong>(U、Th)与极限纯度,满足芯片制造、核医学检测等严苛场景需求、/p>
核心特?/strong>
放射性元素控刵/strong>9/p>
超高纯级:铀(U?lt; 0.5 ppb、钍(Th?lt; 0.5 ppb:/p>
标准高纯?/strong>:铀(U?lt; 0.5 ppb、钍(Th?lt; 1 ppb:/p>
极限纯度:SiO₂≥99.9995%?N5级),金属杂质总量? ppm:/p>
热稳定?/strong>:热膨胀系数?.55×10⁻⁶/℃,耐受快速升降温?200℃~1300℃)、/p>
关键应用领域
1.半导体制速/strong>
晶圆加工载具:用于硅片清洗、蚀刻工序,避免U/Th放射性污染导致芯片良率下降;
光刻机光学组仵/strong>:低放射性石英透镜,确保极紫外(EUV)光刻精度、/p>
2.光电子器仵/strong>
光纤预制棒沉积管、高能激光器窗口,需U/Th含量? ppb以降低信号损耗、/p>
3.核医学与辐射探测
医用PET/CT探测器闪烁晶体原料,放射性指标直接影响成像分辨率、/p>
4.精密仪器
量子计算设备绝缘层、高灵敏度质谱仪腔体,要求材料本底辐射近乎为零、/p>
我司技术标准与优势
1.纯度与放射性控刵/strong>
等级 | U含量 | Th含量 | 适用场景 |
---|---|---|---|
超高纯级 | <0.5 ppb | <0.5 ppb | EUV光刻、量子芯牆/td> |
标准高纯?/strong> | <0.5 ppb | <1 ppb | 光纤预制棒、医疗探测器 |
2.技术突砳/strong>
原料超筛选技?/strong>:通过γ能谱仪预筛矿石,天然铀钍本底降?0%:/p>
多级纯化工艺:集成“氯化提纯→真空脱羟→纳米过滤”,定向去除α粒子释放源(U/Th);
检测能劚/strong>:采用ICP-MS(电感耦合等离子体质谱)与α谱仪,检测限低至0.1 ppb、/p>
质量保障体系
认证标准:符合SEMI F57(半导体级石英)、ASTM C1690(核医学材料)规范;
生产环境:千级洁净车间,避免外部污染;
追溯报告:每批次提供《放射性元素分析证书》及《超纯石英砂溯源档案》、/p>
合作价倻/strong>
定制化供库/strong>:支持粒度(纳米级至毫米级)、形状(粉末/块体/熔融态)定制:/p>
快速响库/strong>?2小时内提供样品检测数据,量产交付周期?0天;
联合研发:为客户提供材料-工艺适配性优化方案,降低验证成本、/p>
我司?strong>U/Th?.5 ppb的电子级石英砂为核心,为半导体、医疗及尖端科研领域提供“零本底污染”材料解决方案,助力突破精密制造极限、/p>
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