产品详情

1、水平双腔布�?硬件成本低于两台单腔外延炈�

2、双腔工艺和维护独立,实现不停机连续生产；

3、兼�?/6寸晶圆外延生�?外延层质量优弁�

4、全自动上下料，释放人工成本;