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杭州晶驰机电科技有限公司
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该设备为微波等离子化学气相沉积系统（MWCVD）。采?.45GHz频率微波源，激发稳定的等离子体。电场激发模式为TM021模式，该系统可以稳定生长金刚石单晶材料、多晶晶圆、/p>
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